能量色散型微區(qū)X射線熒光光譜儀 μEDX系列，可以高靈敏度地分析很小的樣品。對(duì)于需要高分辨率同時(shí)高X射線強(qiáng)度才能進(jìn)行測定的電子部件、電路板以及材料中的異物等微小局部的測定，本裝置可進(jìn)行高靈敏度、高分辨率，分析直徑最小至50μm的分析。
技術(shù)參數(shù)

• 測定原理 X射線熒光分析法

• 測定方法 能量色散型

• 測定對(duì)象 固體、液體、粉體

• 樣品形狀 最大150mm× 150mm× 40mmH

• X射線管 Rh靶

• 檢測器 Si（Li）半導(dǎo)體檢測器（μEDX-1200/1300型）
  Si漂移半導(dǎo)體檢測器（μEDX-1400型）

測定范圍 13Al ~ 92U （μEDX-1200型）
11Na ~ 92U （μEDX-1300型）
13AL ~ 92U （μEDX-1400型）